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      1. 高純金屬靶材您當前的位置:網站首頁 > 產品展示 > 高純金屬靶材

        1. 產品簡介

        鈦含量≥:99.8(%)雜質含量:0.02(%)     
        牌號: TA1,TA2,TA3,TC4(Ti6AL4V),GR1,GR2,GR3,GR5( Ti6AL4V)   

        鈦圓靶 :技術條件:符合GB/T2695-1996,ASTMB348-97  

        鈦板靶 :技術條件:符合GB/T3621-94,ASTM B265-93 

        用途:用于半導體分離器件、平面顯示器、儲存器電極薄膜、濺射鍍膜、工件表面涂層,玻璃鍍膜工業

        2. 產品規格

        圓靶:常用規格:60/65/95/100*30/32/40/45mm
        板靶:(8-25)mm * (150-300) mm * (1000-2500)mm
        管靶: 70mm * 7mm/10mm

        3. 材質
        TA1(Grade 1)、Zr1、Ta1、Mo1、Ni6


        4. 性能標準

        化學成分符合 GB/T 3621-2007,GB/T 2965-2007,GB/T 3625-2007 等標準。


        5. 標準值

        化學成分參考標準

        牌號

        Al

        V

        N≤

        C≤

        H≤

        Fe≤

        O≤

        其他元素(單一)

        其他元素(總和)

        TA1

         

         

        0.03

        0.08

        0.015

        0.20

        0.18

        0.1

        0.40

        TA2

         

         

        0.03

        0.08

        0.015

        0.30

        0.25

        0.1

        0.40

        TC4

        5.5-6.75

        3.5-4.5

        0.05

        0.08

        0.015

        0.30

        0.20

        0.1

        0.40


        機械性能參考標準

        牌號

        室溫下力學性能,不小于

        抗拉強度

        屈服強度

        伸長率

        斷面收縮率

        TA1

        240 MPa

        170MPa

        25%

        30%

        TA2

        345MPa

        275 MPa

        20%

        30%

        TC4

        895MPa

        825 MPa

        10%

        20%


           


           

        版權所有:深圳市中正冶金科技有限公司   電話:0755-27426325  13534136308  傳真:0755-27426074  郵件:sales@szzzyj.com  郵編:518125

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